Установка вакуумного напыления ВН-2000 (-08)

Средняя: 3 (1 оценка)
Артикул: 2215
В наличии
Цена по запросу
Производитель: 

Товар сертифицирован

Выберите город:

Транспортной компанией

Доставка в Нижний Новгород от 3 дней

Стоимость доставки: 3690 ₽*

*Ориентировочная стоимость за 1кг (куб.м)

Гарантия и сервис

Гарантия 12 месяцев

Связаться с нашим менеджером и сообщить о неисправности

Установка вакуумного напыления ВН-2000 (-08), как и ее аналог предыдущего ВН-2000 , предназначена для получения вакуума в рабочем объеме, нанесения пленок в вакууме из проводящих, полупроводниковых и диэлектрических материалов методом магнетронного, резистивного и электронно - лучевогого распыления, а также для травления материалов в плазме (в зависимости от комплекта поставки).

Конструктивные особенности

Установка может быть применена для исследования в области физики, химии, биологии, медицине, материаловедении, микроэлектроники и других отраслях, а также отработки отдельных технологических операций по напылению.

Установки могут эксплуатироваться при температуре окружающего воздуха от 10 °С до 35 °С, относительной влажности не более 80 % и атмосферном давлении от 84 кПа до 106,7 кПа.

Электрическое питание установки должно соответствовать:

  • Напряжение, В 380/220;
  • Частота, Гц 50.
  • Качество электрической энергии по ГОСТ 13109.
  • Потребляемая мощность установки должна быть не более 3кВА

Автоматическая система управления вакуумной частью ВН-2000 (-08), возможность визуального контроля электрических параметров блоков на цифровом табло, новая элементная база и возможность использования большего числа дополнительных аксессуаров позволяет значительно облегчить работу пользователя и расширить функциональные возможности установки.

Устройство и принцип работы

Установка выполнена в виде двух стоек - электрической и вакуумной. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными кабелями.

В электрической стойке размещены:

  • блок распределительный;
  • блок питания высоковольтный;
  • блок трансформаторов;
  • блок управления;
  • пульт управления;
  • блок питания турбомолекулярного насоса БПТ-1000.

В вакуумной стойке расположена вакуумная система. Кроме вакуумной системы в данной стойке расположены:

  • рабочий объем
  • система напуска газа в рабочий объем;
  • система водяного охлаждения турбомолекулярного насоса.

В рабочий объем устанавливаются устройство для термического испарения и устройство осаждения пленок.

Технические характеристики

Установка обеспечивает предельное остаточное давление, Па

5х10^-4

Нагреватель в устройстве напыления обеспечивает температуру, не менее, °C

300

Время нагрева, не более, мин

30

Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя (без нагрузки), кВ

0,5-4

Предельное отклонение верхнего значения, кВ

0,3

Напряжение блока питания магнетрона постоянного тока (без нагрузки), не более, кВ

1

Максимальный ток блока питания магнетрона постоянного тока, мА

300

Максимальный ионный ток устройства ионного травления, мА

100

Установка обеспечивает откачку рабочей камеры с атмосферного давления до давления 2х10^-3 Па за время, не более, мин

15

Ток пучка электронного испарителя, мА

0-200

Ток накала электронно-лучевого испарителя, А

2-10

Ток источника резистивного испарителя 1, А

5-200

Ток источника резистивного испарителя 2, А

3-50

Габариты стойки аналитической, мм

470х540х1600

Габариты стойки электрической, мм

610х630х1670

Масса установки, кг

350

Добавить отзыв
CAPTCHA
Этот вопрос задается для того, чтобы выяснить, являетесь ли Вы человеком или представляете из себя автоматическую спам-рассылку.
4 + 12 =
Решите эту простую математическую задачу и введите результат. Например, для 1+3, введите 4.

Наши преимущества

Доставка
Доставку можно выполнить удобной для вас транспортной компаний: Деловые Линии, ПЭК, КИТ, ЖелДорЭкспедиция, Почта России.
Удобная оплата
Наша компания предоставляет гибкие условия оплаты: Безналичный расчет по счету, Наличный расчет, Оплата банковской картой.
Официальная гарантия
На весь товар действует гарантия от производителя.

Рекомендуемое оборудование и аналоги

Последние просмотренные